IT之家 7 月 10 日消息,原集微科技宣布,7 月 9 日,由原集微建设的世界首条 8 英寸二维半导体中试线正式启用,这是国内也是世界首条二维半导体工程化示范工艺线。
IT之家获悉,该工艺线于今年 1 月完成点亮,仅半年多时间完成全部设备二次调试与工艺优化。区别于实验室小型试制平台,当前整条产线已具备完整流片与工程化试制能力,搭建起从材料制备到芯片集成的完整工程化链条。
原集微科技董事长包文中表示,依托二维材料原子级厚度的天然优势,其无需依赖复杂的 FinFET 或环栅结构,即可实现晶体管的持续微缩。

今年下半年,团队将基于刚通线的 8 英寸中试平台,打通等效硅基 90nm 的工艺路径,推动二维半导体从实验室“手搓”器件向工业化标准设计迈进;目标在 2029 年不依赖 EUV 光刻机实现等效 5nm 的全国产方案。

此外,原集微正式发布基于其 8 英寸中试线平台的 500 纳米 PDK 0.1 版本,并同时启动代工流片服务。

据介绍,该 PDK 面向高校和研究所科研客户,是二维半导体领域首个提供二维 PDK 并兼容目前主流 EDA 工具链的工艺 IP,包含 Pcell、DRC、LVS、PEX 等工具包,为客户提供了从设计到制造的全流程工具支撑。
该套工艺库良率大于 99.99%、各方面指标突破了二维半导体的国际纪录,基本接近硅基同等制程水准,未来可支持 10 万管级二维电路设计和晶圆级制造。
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